大部分激光雷达厂家实际上是系统集成商，众所周知，激光雷达由激光发射、激光扫描器、激光接收和数据处理四部分构成。
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激光发射和接收是激光领域大厂提供的，如欧司朗、Lumentum、Excelitas、索尼（SPAD）、佳能（SPAD）、松下（SPAD）等，这些大厂具备几十年的激光产品经验和专利，激光雷达初创厂家根本不可能和这些大厂竞争。
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数据处理部分则是德州仪器、Xilinx的天下。数据处理要具备ADC和TDC能力，全球擅长ADC的也就那几家老牌模拟芯片厂家，激光雷达初创厂家也无力和这些老牌模拟芯片厂家竞争，激光雷达厂家所谓的自研芯片通常是定制一些GaN开关电源芯片。
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激光雷达厂家主要的工作就是做激光扫描器，Flash激光雷达则连扫描器也没有。对于MEMS激光雷达来说，核心就是MEMS振镜，能否自产MEMS振镜是判断厂家是否核心竞争力的最关键因素，没有之一。
图片来源：yole
考虑性能、价格、可靠性、车规、体积、外观，MEMS激光雷达也是目前汽车激光雷达的最佳选择，我在此前文章中分析过，该方案最佳选择的电磁式MEMS振镜。
目前传统车厂选择激光雷达通常有两种，一种是丰田、奔驰、本田、奥迪为代表的转镜激光雷达，丰田是自制激光雷达，只有3线，其余大多是VALEO供应的。转镜的缺点是性价比低，做4-8线还凑合，16线以上成本偏高，随着L3/L4的到来，老式的4-8线转镜激光雷达已经不能满足要求。传统车厂已经开始从转镜式向MEMS转移，宝马是第一个。
全球MEMS激光雷达厂家主要就两家，一家是中国的速腾聚创，另一家是以色列的Innoviz，Innoviz已经拿下宝马20亿美元的订单，2023年下半年开始出货。
图注：宝马搭载Innoviz激光雷达
宝马第一个搭载Innoviz激光雷达的车型是新7系，包括燃油车、混动车和纯电车。激光雷达隐藏在车灯下方，使用了两个。
图注：宝马搭载Innoviz激光雷达
中国的速腾聚创拿下了大部分中国车厂的激光雷达订单，除了理想、蔚来，其余厂家的激光雷达基本都是速腾聚创提供，包括比亚迪、极氪、广汽、上汽智己、小鹏、吉利路特斯，长城近期也从ibeo转投速腾聚创。国际上的车厂中，丰田和Lucid也选了速腾聚创。
图注：比亚迪仰望U8搭载速腾聚创激光雷达
图注：魏派摩卡使用两个速腾聚创激光雷达，隐藏在车灯附近，宝马也类似
图注：小鹏旗舰P7i，激光雷达隐藏在车灯附近
图注：丰田也选择了速腾聚创的激光雷达。
图注：未来丰田将在中档车型上使用速腾聚创的激光雷达
之所以最多选择速腾聚创，是因为速腾聚创能够自行设计MEMS振镜，并且通过了车规。MEMS振镜是一类芯片，由专业的MEMS晶圆代工厂代工，这和车载芯片的供应链是完全一致的。这次通过AEC-Q100的整个扫描器件就是电磁驱动MEMS振镜，结构强度是MEMS振镜中最高的一种。
图注：SGS给速腾聚创MEMS振镜颁发的AEC-Q100证书
图片来源：网络
什么是车规？这并没有严格定义，业内公认的基础性车规是AEC和ES90000系列，还有零失效(Zero Defect)的供应链质量管理标准ISO/IATF 16949规范(Quality Management System)。至于ASIL的安全级别主要关注失效安全，有些片面，AEC对于电子器件来说还是最全面最基础的车规。
图注：AEC-Q100标准的业内地位，资料来源：MPS
车用电子主要依据国际汽车电子协会(Automotive Electronics Council，简称AEC)作为车规验证标准，包括AEC-Q100(集成电路IC)、AEC-Q101(离散组件)、AEC-Q102(离散光电LED)、AEC-Q103（MEMS）、AEC-Q104(多芯片组件)、AEC-Q200(被动组件)，其测试条件比消费型芯片规范严苛。
AEC-Q100、AEC-Q101和AEC-Q200这三个标准是最早制订的、也最常被引用的AEC-Q标准。在AEC网站上的“文档”页面列出了37个标准和子标准，其中七个被列为“新New”或“初始版本Initial release”。所以说AEC-Q标准是在不断进化的，特别是随着高级驾驶辅助系统（ADAS）和自动驾驶等新技术的发展，标准还将保持这种持续更新的状态，以适应新技术和应用的需求。
最特殊的当属MEMS器件的AEC-Q103，因为MEMS器件比较特殊，所以AEC-Q103包含的子标准直接按照功能划分，目前AEC-Q103仅有两个子标准，一个是AEC-Q103-002，是针对压力传感器的，另一个是AEC-Q103-003是针对MEMS麦克风的。两个标准再分0A和0B两级。
图注：AEC-Q103系列标准相关信息
上图是AEC协会较早的资料，目前AEC-Q103-003标准已经出台，AEC-Q103-001是针对MEMS IMU的，估计在2023年底出台。针对MEMS振镜，联合AEC协会正在制定AEC-Q103-004和AEC-Q103-005标准，预计到2025年出台标准。本次速腾聚创MEMS振镜通过AEC-Q系列认证是AEC-Q103-004和AEC-Q103-005制定的关键依据案例。
所以，目前MEMS振镜还是按照AEC-Q100标准来验证。
1)、Accelerated Environment Stress （加速环境压力）
2)、Accelerate Lifetime Simulation （加速寿命仿真）
3)、Packaging/Assembly （封装/组装）
4)、Die Fabrication （芯片制程）
5)、Electrical Verification （电气验证）
6)、Defect Screening （不良品筛选）
7)、Cavity Package Integrity （腔体封装完整性）
图注：AEC-Q100认证流程，资料来源：AEC委员会
图注：AEC-Q100环境压力测试（A组测试），资料来源：AEC委员会
图注：AEC-Q100 加速寿命模拟测试（B组测试），资料来源：AEC委员会
图注：AEC-Q100封装完整性测试（C组测试），资料来源：AEC委员会
标准中最有意思的是D组测试，没有测试标准和方法，主要是芯片制造领域的测试，可能是因为不熟悉芯片制造或者说芯片制造领域变化太快，因此AEC-Q100只提出了测试项，分别是电迁移即EM、经介质击穿TDDB、热载流子注入HCI、负偏压温度不稳定性NBTI、压力迁移SM。
图注：AEC-Q100电特性测试（E组测试），资料来源：AEC委员会
图注：AEC-Q100 缺陷筛选测试与封装完整性测试（F与G组测试），资料来源：AEC委员会
AEC-Q100的认证流程最快也要半年，除了MEMS振镜，VCSEL也有通过AEC-Q102认证的例子，但是光纤型还没有通过AEC-Q102认证的例子。VCSEL+SPAD的高线数方案，可算是转镜式的变种，没有什么创意，转镜也没有车规标准，关键器件VCSEL来自三五族或Lumentum，性价比不高。
之前有不少关于MEMS振镜可靠性的流言蜚语，这一次MEMS振镜通过AEC-Q100则是流言终结者。比如，之前有人认为硅基MEMS的悬臂梁结构非常脆弱，这两对扭杆中，又细又长的为慢轴，又短又粗的为快轴，两者同时对微振镜进行反向扭动，外界的振动或者冲击易直接致其断裂，但AEC-Q100中的振动测试强力回击了这个错误的论断，MEMS振镜至少在车用场合不会断裂；再比如，有流言说硅基MEMS作为半导体工艺，其线圈都很细地密布在镜面背后，导热性差，对温度极为敏感，无法通过AEC-Q100的温度测试，本次认证的事实终结这个流言。
图注：MEMS振镜变频振动测试
唯有MEMS激光雷达，具备高性价比，高可靠性，也有标准体系，技术能过车规，选择的车企也最多，实属车载激光雷达的主流发展方向。本次AEC-Q100认证，不仅终结了所有有关MEMS激光雷达的流言蜚语，也开启了MEMS激光雷达大量上车的历程。
原文始发于微信公众号（佐思汽车研究）：争议终结！MEMS振镜通过车规认证，国产厂商掌握激光雷达核心技术
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